CaF2
フッ化カルシウム
フッ化カルシウム(CaF2)は特異な低分散光学材料として古くから高品位を求める結像系に使用されてきました。またハイビジョンTVなど画質の高品位化の流れに伴い更にその使用が望まれてきています。(可視・赤外グレード)
最近では真空紫外域までの高透過を持つ材料であることからエキシマーレーザーや、レーザーを光源とする半導体露光装置の主要な光学部品として使用されています。この用途には強いレーザー耐性や紫外域での高い透過率が要求されます(ArF グレード)。
日本結晶光学は結晶育成から加工・評価まで社内で一貫して行い、紫外から赤外域までの様々な用途での高品質のフッ化カルシウムを、お客様に安定して供給できる体制をとっています。
ArF グレードの透過率
可視・赤外グレードの透過率
ArFグレード真空紫外域での透過率とレーザー耐性
（ArFレーザー照射前後の透過率）
標準的仕様
- 直径 最大250mm 厚さ100mm
- 均質性 1ppm以下
- 複屈折 1nm/cm以下
フッ化カルシウムの屈折率
(分散式値と実測値の例)
