X-線検出器
DEX部では手荷物、貨物及び工業製品の非破壊検査、また医療用CT検査に用いられますⅩ-線検出器を製造しており世界的にも有数なシェアを誇っております。
当社の特徴は世界で唯一シンチレーター用結晶及びフォトダイオードを内製しているメーカーと言うことです。
この利点を生かし我々は結晶またはフォトダイオードを単体で保証するのではなくディテクターとしてのテスト、保証を可能にしました。これによりユーザーでの各材料・部品の品質、価格、輸送、組み立て等個別管理の改善にお役立ていただいております。
「品質最優先」 を信条に三井金属グループの一員として三井金属・総合研究所と共同で改善・開発に取り組んでおります。
フォトダイオード
当社のフォトダイオードは三井金属のリソグラフィー技術を基に開発され diffusion and ion implantation 法にて設計・製造を行っております。
主な特徴としては
- * FZ 及び エピタキシャルシリコンウエハー製のPIN フォトダイオード
- * 低暗電流
- * 高出力及び直線性
- * 微細なマルチチャンネルフォトダイオードアレイ
- * 低ストロークアレイ構造
高性能フォトダイオードの製造には、厳しい品質管理が不可欠です。フォトダイオードは出荷前および/またはディテクター組立工程前に全数検査を実施しております。
ディテクター
当社はシングル、マルチチャンネルとも製造しております。ディテクター性能に重要な単結晶は厳しい品質管理のもとチョコラルスキー法及びブリッジマン法で育成されます。それらは慎重に定められたサイズにカットし加工され高出力に適したシンチレーターとなります。
マルチチャンネルディテクターは結晶の2次元配列を作るためシンチレーター結晶がピクセル状に組み合わされています。隣接チャンネルの影響を防ぐため特定素材で分離されています。
シンチレータまたはアレイはフォトダイオードと組み合わせられディテクターが完成します。
各ディテクターは出荷前に検査を行います。当社でディテクターとして品質を確認されているため顧客はフォトダイオード、結晶など各材料毎の品質管理の必要がありません。
当社のディテクター設計は内製のフォトダイオードとの最適化により高出力応答特性と低クロストークの優れた高性能なアレイ型ディテクターを実現いたします。
アフターグロー測定
アフターグローは一般的に特定時間のX線励起中止によるシンチレーター結晶の残されたシグナルであると言われています。
当社では鉛製の電機機械式高速シャッターでX線励起を止め測定を行います。シャッターのスピードは約1mm/1msでシャッターが閉じた後、アフターグローを数秒間測定いたします。
当社 仕様:
- X-ray machine type (NK&K):
- W-target, continuous 3- phase (6 peaks / 20 msec), 3 kW
- X-ray tube voltage: 120 kV
- CWO X-ray exposure: 1 second
計算式:
Afterglow level, A (%) = 100 x (I2- I0) / (I1-I0)
- I0 @ t= 400 msec (Average of 50 points)
- I1 @ t = 1200 msec (Average of 50 points)
- I2 @ t = t2 (20 msec*1) after shutter)*2)
- *1) 20 msec is our standard. Point of after shutter can be set 20 msec to 1500 msec
- *2) Data is smoothing by moving average method.
Fig.1 Interpretation of Afterglow Calculation
X-線ディテクター用STD24 - 24 channels Si-PIN Photodiode
X-線ディテクター用フォトダイオード。 直線的なシンチレータをフォトダイオードの有効部分に固定します。CWO, CsI, GOS その他 結晶を使用可能です。